परिशुद्धता भागों की प्रसंस्करण एक ही प्रक्रिया में सभी सतहों की सभी प्रसंस्करण सामग्री को पूरा नहीं कर सकती है। परिशुद्धता भागों प्रसंस्करण की पूरी मशीनिंग प्रक्रिया को निम्न चरणों में विभाजित किया जा सकता है:
(1) रफिंग चरण। अधिकांश मशीनिंग भत्ते मशीनों की सतहों में से प्रत्येक से हटा दी जाती हैं, और ठीक संदर्भ बनाए जाते हैं। मुख्य विचार उत्पादकता को जितना संभव हो सके बढ़ाना है।
(2) सेमी-फिनिशिंग चरण। किसी न किसी मशीनिंग के बाद होने वाली दोषों को हटाने के लिए मशीन मशीनिंग के लिए सतह तैयार करती है, मशीनिंग सटीकता की एक निश्चित डिग्री की आवश्यकता होती है, उचित परिष्करण भत्ता की गारंटी देता है, और एक ही समय में माध्यमिक सतहों की मशीनिंग को पूरा करता है।
(3) परिष्करण चरण। इस चरण में, पिछली प्रक्रिया द्वारा छोड़े गए फिनिशिंग भत्ते को हटाने के लिए एक बड़ी कटौती की गति, एक छोटी फ़ीड दर, और कट की गहराई का उपयोग किया जाता है, ताकि भाग की सतह पैटर्न की तकनीकी आवश्यकताओं तक पहुंच सके।
(4) परिष्करण चरण। यह मुख्य रूप से सतह खुरदरापन मूल्य को कम करने या मशीन की सतह को मजबूत करने के लिए प्रयोग किया जाता है। यह मुख्य रूप से सतह की प्रसंस्करण के लिए उच्च सतह खुरदरापन (ra≤0.32 माइक्रोन) के साथ प्रयोग किया जाता है।
अल्ट्रा-परिशुद्धता प्रसंस्करण चरण। प्रसंस्करण परिशुद्धता 0.1-0.01μm है और सतह खुरदरापन मूल्य आरए 1 0.001μm है। मुख्य प्रसंस्करण विधियां हैं: सटीक काटने, सटीक दर्पण पीसने, सटीक पीसने और चमकाने आदि